自动碳化硅浆推拉舟机构,碳化硅桨炉管

自动碳化硅浆推拉舟机构,碳化硅桨炉管是一种防推舟碳化硅桨,包括碳化硅桨头,其特征是:在所述的桨头的两侧边角倒角(www.hn360.net)。

于半导体扩散炉的部件,由淀积在预定形状的结构增强件上不可渗透的高纯碳化硅或氮化硅基体所构成,结构增强件是碳化硅、碳或者涂覆碳化硅的碳。高纯度基体防止不需要的气体成分污染炉子气氛、结构增强件提供强度并减轻重量。

对于扩散炉的部件,碳化硅桨、碳化硅炉管、扩散炉炉管、SIC炉管、SiC浆、SIC桨、扩散炉碳化硅炉管所述的部件是一种不渗透的基体和被基体涂包在内的结构增强件,所说的基体是碳化硅或氮化硅,所说的结构增强件是碳化硅、碳或者涂覆碳化硅的碳。

扩散炉碳化硅桨、碳化硅炉管、扩散炉炉管、SIC炉管、SiC浆、SIC桨、扩散炉碳化硅炉管的使用方法,包括如下步骤:

1)采用碳化硅砂纸,将已成型的碳化硅浆表面进行打磨处理,纯水洗净烘干;

2)将抛光后的碳化硅浆放入炉膛,温度升至1500℃-1800℃,充氮气,进行渗氮处理;

3)将渗氮后的碳化硅浆经退火,退火温度为900-1000℃,后缓慢冷却至室温;

4)将渗氮后的碳化硅浆放入炉膛,充氨气和硅烷,进行氮化硅镀膜,膜厚为8-15微米,温度400-450摄氏度;

5)缓慢冷却至室温

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